產品介紹
AZBIL(現(xiàn):阿自倍爾,原:山武)
藍寶石隔膜真空計型號 V8,通過應用MEMS加工技術的傳感器,改善了耐沉積性能。
受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優(yōu)異的單晶體藍寶石,型號 V8S現(xiàn)在可以支持在高溫環(huán)境中使用。
通過提高耐沉積性能,減少停機時間
應用MEMS加工技術,改善了漂移量。
應力平衡結構
增加感壓部的外周部厚度,
通過抵消外周部和中心部的應力平衡,
減少零點漂移
V8傳感器結構

凹凸傳感器
感壓部表面進行凹凸加工,
切斷附著膜,減少沉積物的應力影響

可應對過程氣體的更高溫度
通過基板部分和傳感器部的分離及使用材料的改善,型號 V8S現(xiàn)在可以支持在高溫環(huán)境中使用。
通過小型化減少占用空間
提高了內部組件的空間利用率,減少了體積。